破解“卡脖子”难题光刻机自主研发有望实现新突破

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破解“卡脖子”难题光刻机自主研发有望实现新突破

2021-02-26 08:43 来源：证券时报网作者：刘新征

证券时报网讯，据清华大学官网消息，2月25日，清华大学工程物理系教授唐传祥研究组联合国外科研人员发布了一项重大科研成果。该成果基于SSMB（Steady-state microbunching，一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”）原理，能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射，波长可覆盖从太赫兹到极紫外（EUV）波段，有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。

华创证券指出，大功率的EUV光源是EUV光刻机的核心基础。随着芯片工艺节点的不断缩小，预计对EUV光源功率的要求将不断提升，达到千瓦量级。基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力，为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。

相关标的：奥普光电、苏大维格、张江高科。

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