上海新阳：子公司购得ASML XT 1900 Gi型二手光刻机

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上海新阳：子公司购得ASML XT 1900 Gi型二手光刻机

2021-03-11 17:57 来源：证券时报网作者：许擎天梅

证券时报网许擎天梅 2021-03-11 17:57

证券时报e公司讯，上海新阳(300236)3月11日晚间公告，近日，由参股子公司芯刻微公司委托盛吉盛（宁波）半导体材料有限公司代理投标，成功中标，购得ASML XT 1900 Gi型二手光刻机一台，该设备可用于研发分辨率达28nm的高端光刻胶。3月11日，芯刻微公司向盛吉盛支付10%首期货款购入该光刻机，剩余90%六个月内付清。后续公司将启动设备的运输及相关安装调试等工作。

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